マスフローコントローラーとは マスフローコントローラーの原理と構造について マスフローコントローラーとはマスフローコントローラー（Mass Flow Controller）は、流体の質量流量を計測することにより流量制御を行うので、環境温度や使用圧力等の変化による補正を行う必要がなく、高精度で安定した流体計測・制御が可能な機器です。フローメーターやニードルバルブなど体積流量による流量制御では、ある程度正確な流量を必要とする際は、温度や圧力等の変化による補正を行う必要があります。マスフローコントローラー／マスフローメーターは、半導体やフラットパネルディスプレイなどの高精度な流量計測・制御を要求される分野をはじめ、分析、燃料電池、液晶、有機ＥＬ、バイオ、培養、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置に幅広く使用されています。エフコンのマスフローコントローラー／マスフローメーターは、幅広い分野でご使用頂けるよう基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と信頼性を高めると共に、基本機能に特化した低価格製品の設計製造を目指しています。マスフローコントローラーの原理と構造マスフローコントローラーの基本構造は下図の通り、流量センサー、バイパス、バルブ、制御回路から構成されています。一般的に使用されるのは熱式センサーと呼ばれるもので、ステンレス製毛細管の上流側と下流側に巻かれた抵抗体に電流を流し発熱させます。ガスが流れていない時は、上流側と下流側の抵抗体の熱は平衡状態に保たれ流量出力信号はゼロを示します。入り口から入ったガスはセンサーとバイパスに分流されます。ガスがセンサーに流れ込むと上流側と下流側の抵抗体に温度差が生じ、熱バランスが崩れセンサーの温度分布に変化が起こります。この変化をブリッジ回路で捉え流量出力信号として取り出しています。これに、外部から入力された流量設定信号とセンサーの流量出力信号を比較して、それぞれの信号レベルが一致するように流量制御バルブがPID 動作（比例、積分、微分）し、自動的にバルブの開度を微調整するので、常に安定した流量を設定した条件で流量制御することが出来ます。 動画で詳細を説明させて頂きます。